2024-02-05，光大证券发布一篇电力设备新能源行业的研究报告，报告指出，PET钝化技术配合激光无损切割提效显著。

　　激光划片造成边缘复合 随着半片工艺在电池片封装中的应用，激光无损划片得到推广。太阳能电池表面复合减少了表面激发载流子数量（导致功率损失），但在电池新的切割面，即未钝化的表面，切片电池边缘表面的载流子复合更加明显。随着小尺寸电池周长面积比变大，边缘复合变得更加严重。 PET（PassivatedEdgeTechnology）钝化技术 微观损伤与复合机制：电池边缘的微观损伤不仅包括物理裂纹，还包括由切割过程引入的晶格缺陷。这些缺陷为电荷载流子提供了复合中心，即电子和空穴在这些点相遇并互相抵消，导致电能损失。PET钝化技术通过创建一个钝化层，有效地减少了这些复合中心的活性。 钝化层的选择与优化：选择氧化铝（AlOx）作为钝化材料不仅因为其优异的电气绝缘性能，还因为它能够与硅表面形成良好的化学键，提供长期稳定的钝化效果。 钝化层的厚度、均匀性和退火温度等参数需要精确控制，以达到最佳的钝化效果。 操作方法：使用三甲基铝和水蒸气作为前驱体，采用ALD工艺在低于200℃温度下沉积8nmAlOx钝化层，然后在250℃下采用平板电炉退火，11个月后电池性能稳定性测量表明，PET钝化质量和效果非常稳定。 效率提升情况PET钝化技术对TOPCon叠瓦电池提效显著，使用激光无损划片后，在80℃下，采用PE-ALD设备在样品侧切面边缘沉积了6nm厚的AlOx钝化层，然后使用平板电炉325℃退火，与直接切割的样品相比，使用PET钝化技术进行边缘钝化后样品效率提高了0.7%。 目前的应用情况 2018年，德国弗劳恩霍夫研究所针对PET钝化技术申请专利；2019年，该研究所首次发表使用ALD设备在双面PERC电池叠瓦方面应用的论文；2021年，该研究所展示了PET钝化技术在异质结电池的应用；2022-2023年，该研究所先后展示了PET钝化技术在TOPCon电池叠片方面的应用，以及使用高通量转移ALD技术在TOPCon电池叠片方面的应用。 2024年1月，理想晶延业界首创的光伏切片电池侧壁钝化（EdgePassivationDepositionEPD）设备正式整装出货。行业内多家企业已与理想晶延达成合作，并验证了EPD技术对TOPCON、HJT、PERC等电池组件的提效作用。 一道新能采用首创的边缘钝化技术，利用特殊的场效应钝化材料对电池侧面进行处理，修补裂片后的钝化层损伤，再钝化侧面缺陷，减小电池裂片效率损失。 投资建议 PET钝化技术与激光无损划片搭配，可实现对电池划片边缘复合的再钝化，对电池片效率有明显提升，未来有望得到进一步规模化应用。建议关注ALD设备厂商：微导纳米、理想晶延（未上市）；TOPCon电池效率有望得到进一步提升，建议关注头部TOPCon电池片厂商：晶科能源、钧达股份002865）。 风险分析 （1）产业化进程不及预期；（2）竞争加剧风险；（3）核心技术进步不及预期。

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